O dano da eletricidade estática em sala limpa
Semicondutores, telas planas, optoeletrônica e outras salas limpas, apesar de muito trabalho, os problemas eletrostáticos na sala limpa ainda afetam a segurança da produção e o rendimento do produto, afetando os custos e benefícios da fabricação, afetando a qualidade e a confiabilidade do produto.
1. Força de Coulomb Eletrostática
Sob a ação da força eletrostática de Coulomb, a poeira e a sujeira adsorvidas fazem com que os componentes vazem ou formem um curto-circuito, o que prejudica o desempenho e reduz muito o rendimento e a confiabilidade. Se o tamanho de partícula do pó for> 100 μm, a largura do fio de alumínio for de aproximadamente 100 μm e a espessura do filme de óxido for 50 μm, é mais provável que o produto seja descartado. Agora, o diâmetro do fio é mais fino, o filme de óxido é muito fino e as partículas de poeira com partículas pequenas danificam os componentes. Isso acontece principalmente nos processos de limpeza por corrosão, fotolitografia, solda a ponto e embalagem.
2, descarga eletrostática ESD
(1) A película de óxido isolante do componente está quebrada e o eletrodo é soprado ou a linha é queimada. Se o corpo humano carrega 10KV (100PF) de carga estática, ESD ocorre quando o dispositivo é tocado, e os picos de corrente de descarga de pulso até 20A (10 ~ 100s) podem ser formados instantaneamente à terra, para não mencionar alta densidade, diâmetro do fio, filme fino de SiO2. Lsi, Vlsi, é o IC geral, MOS sofrerá dano.
De um modo geral, a intensidade de campo de tensão suportável da película de SiO2 da porta de isolamento do dispositivo é E = (5-10) × 106V / cm. Se a espessura do filme do dispositivo SiO2 for 1000, a tensão estática de 50V-100V ou mais será atingida quando o pino de entrada do dispositivo for aplicado. Vestindo, e o corpo com eletricidade estática mais de 50V, 100V é muito comum.
(2) causando ruído e emitindo interferência eletromagnética
O ESD faz com que o EMI tenha um pico acentuado antes e depois da onda eletromagnética, e o sinal é forte, o que equivale a alguns volts de energia no circuito. A freqüência abrange alguns MH2 ou centenas de MH2 de ruído forte, o que pode causar danos aos componentes, equipamentos e sensores não funcionam corretamente ou até mesmo causar o travamento do dispositivo.
O EMI causado por ESD também causa uma entrada de um sinal de erro ou um fenômeno de travamento. Em uma sala limpa, a caixa EMIF da bolacha é colocada em um carrinho de aço, e a ESD da bolacha é transmitida para o carrinho através do indutor. A roda é isolada e a difusão da EMI faz com que o manipulador de wafer colida.
(3) choque elétrico para o corpo humano
Quando o ESD do corpo humano ou o ESD do corpo humano excede a corrente elétrica de 5 mA ou mais do corpo humano, as pessoas terão vários sentimentos de lesão, causando ansiedade emocional e erros operacionais.
Salas limpas como semicondutores, monitores de tela plana e optoeletrônica têm feito muito trabalho, mas os problemas estáticos em salas limpas ainda afetam a segurança da produção e o rendimento do produto, afetando os custos e benefícios da fabricação e afetando a qualidade e a confiabilidade do produto. De acordo com especialistas industriais estrangeiros, a perda anual de produtos devido à eletricidade estática nos Estados Unidos é de 8 a 33%. Algumas pessoas estimam que o prejuízo anual para a indústria de eletrônicos nos Estados Unidos vale 10 bilhões de dólares. Na década de 1980, o Japão analisou os produtos eletrônicos descartados. A perda causada por ESD representa 1/3. Semicondutores da China, monitores de cristal líquido de tela plana, optoeletrônicos, etc., todos começaram tarde, mas os riscos eletrostáticos também ocorrem de tempos em tempos, e o rendimento é baixo. Bancos, empresas de valores mobiliários, bancos de dados confidenciais, centros de monitoramento, salas de despacho de energia, etc., se ocorrer ESD, é fácil causar interferência, e os dados são perdidos, a situação é ainda mais grave.