Proteção ambiental da indústria de semicondutores
À medida que aumenta a conscientização ambiental das pessoas, aumenta também o nível de atenção às questões de proteção ambiental. Nós temos apenas um planeta. Como proteger o nosso ambiente de vida, enquanto o desenvolvimento da economia se tornou um tema urgente. Reduza a carga sobre o meio ambiente global, garanta a segurança e a saúde e proteja o meio ambiente. Economizar energia para economizar recursos, reciclar resíduos, reduzir o desperdício e gerenciar a descarga de substâncias químicas tornou-se o consenso das pessoas para proteger o meio ambiente. Em conjunto com a promoção da certificação ISO14000 e o objetivo de construir uma fábrica verde do século XXI, as pessoas fizeram esforços ativos em proteção ambiental. A particularidade da indústria de fabricação de semicondutores fez com que várias indústrias prestassem mais atenção às questões de proteção ambiental.
Prevenção do efeito de aquecimento global
Prevenir o efeito de aquecimento global da Terra tornou-se um tema quente que tem sido amplamente preocupado nos últimos anos. Na indústria de fabricação de semicondutores, há dois problemas principais:
1. economia de energia
Os equipamentos de fabricação da indústria de semicondutores, equipamentos de ar condicionado, equipamentos de fonte de frio / calor e uso de água pura, fornecimento de líquidos, gás de exaustão, gás, equipamentos elétricos etc. operam continuamente 24 horas por dia, 365 dias por ano. e consome muita energia. Do tipo de consumo de energia, eletricidade e energia são responsáveis por cerca de 85%, e fontes de energia, como combustível e vapor, respondem por 15%. A partir do uso de consumo de energia, o equipamento de fabricação pré-processo é de cerca de 40% -50%, ar condicionado, equipamentos de fonte de frio / calor é de cerca de 30% e outros equipamentos auxiliares é de cerca de 25%.
Economizar energia, reduzir custos e melhorar a competitividade do produto são tarefas que as empresas vêm implementando há muito tempo. Por um lado, através da transformação tecnológica de equipamentos existentes, benefícios econômicos significativos podem ser alcançados, mas por outro lado, o investimento em fábricas de semicondutores é agora enorme, o desenvolvimento da tecnologia é extremamente rápido. Como uma indústria de semicondutores, a futura direção de pesquisa de conservação de energia deve ser feita nos seguintes aspectos:
Equipamentos de manufatura: melhoram a eficiência de conversão de energia e, assim, melhoram a utilização de energia para alcançar fins de economia de energia; reduzir o consumo de energia no estado de espera do equipamento, correspondentemente reduzir a carga de ar condicionado para alcançar fins de economia de energia; reduza a capacidade de exaustão do equipamento A carga de tratamento dos gases de exaustão é reduzida para alcançar fins de economia de energia; a área de instalação do equipamento é reduzida para controlar a área da zona de purificação para obter economia de energia.
Equipamento auxiliar: miniaturização de equipamentos; redução da área de alta área de purificação para reduzir o consumo de energia da circulação de ar para economizar energia; uso de sistema de ar condicionado com baixa perda de pressão; uso de novos materiais de isolamento para promover o alisamento do consumo de energia; Use o dióxido de carbono gerado durante o processo de redução do consumo de energia.
Desenvolvimento de produtos e projeto de processos: desenvolvimento de produtos de alto valor agregado; desenvolvimento de produtos orientados para os custos (redução da área de chips, padronização de processos, redução do ciclo de projeto); aumentando a produção (aumentando a taxa de produção, reduzindo a contagem de engenharia e reduzindo o tempo de teste).
O desenvolvimento da indústria de semicondutores tornou-se de alto desempenho, leve, fino e de baixa energia. Contribuiu para a direção de conservação de energia para máquinas e equipamentos. Estamos ansiosos para a introdução de novos equipamentos para conservação de energia.
2. Reduzir o PFC
O PFC (PREFLUOROCARBON) é usado principalmente na engenharia CVD para fabricação de semicondutores, como gás de limpeza e como gás de processo em engenharia de corrosão a seco. O PFC foi incluído na redução de emissões devido à sua capacidade de destruir a camada de ozônio da Terra. A maioria deles não é diretamente processada e descarregada diretamente na atmosfera, e a redução da emissão de PFC é uma questão importante para a indústria de fabricação de semicondutores no futuro.
As direções futuras da pesquisa enfocarão os seguintes aspectos:
Desenvolvimento de um sistema de reciclagem de PFC descarregado (envolvendo como reciclar, separar e refinar com eficácia e eficiência o PFC); desenvolvimento de novas tecnologias de processamento de PFC (conversão de PFC em emissões de gases não-estufa); desenvolvimento de gases alternativos (substituição de gases atualmente utilizados com gases por um pequeno coeficiente de aquecimento global; desenvolvimento de novos processos (pesquisa de novos processos de corrosão).
O plano do Japão para controlar a emissão de PFCs na indústria eletrônica, anunciado em abril de 1998, propõe uma meta de redução com base em 1995. Até 2010, as emissões de cada projeto serão reduzidas em 70% para a nova linha. A linha é cortada em 10%. Os Estados Unidos também estabeleceram uma meta para a taxa de recuperação do PFC usado na indústria de semicondutores. Aqui, os participantes da indústria nacional são convidados a prestar atenção a essa questão mais cedo.